三氯氢硅属于什么工艺?

三氯氢硅属于化学合成工艺，主要通过硅粉与氯化氢在高温下反应制得。反应温度控制在300摄氏度左右，压力维持在0.5兆帕。原料硅粉需经过粉碎处理，氯化氢则需干燥提纯。生产过程中还会生成氢气等副产品，需通过冷凝和分离技术回收利用。

工艺流程

三氯氢硅生产分为原料准备、反应合成和产品提纯三个环节。硅粉与氯化氢在流化床反应器中混合，生成粗产品后进入精馏塔。精馏塔分多个塔板，通过温度梯度分离杂质。最终产品纯度可达99.9%，满足光伏和电子行业需求。废料需中和处理，避免环境污染。