白光干涉仪和扫描电镜的区别?

时间:01-18人气:19作者:血花飞舞

白光干涉仪和扫描电镜都是精密测量工具,但原理和应用不同。白光干涉仪通过分析光波干涉图案测量表面形貌,适合光滑物体;扫描电镜用电子束扫描样品表面,生成高倍图像,观察微观结构和成分。

区别

白光干涉仪:利用白光干涉原理,测量样品表面高度差,精度可达纳米级。适合测量光学元件、MEMS器件等光滑表面,非接触式测量,速度快,但无法观察材料内部结构或化学成分。设备体积小,操作简单,成本较低。

扫描电镜:聚焦电子束轰击样品表面,通过检测二次电子和背散射电子成像,放大倍数可达几十万倍。能观察样品微观形貌、成分分布,适合金属材料、生物样品等,需真空环境,样品制备复杂,设备昂贵,测量速度慢。

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