sem和光刻机区别?

时间:01-20人气:20作者:篱下浅笙歌

SEM(扫描电子显微镜)是用于观察微观表面形貌的仪器,而光刻机是制造芯片的核心设备,两者用途完全不同。SEM通过电子束成像,分辨率可达纳米级;光刻机通过紫外光或极紫外光将电路图案转移到硅片上,精度要求更高。

区别

SEM:主要用于科研和工业检测,能放大物体表面几千倍,帮助观察材料细节。操作相对简单,样品无需复杂处理,适合多种材料分析。价格较低,实验室普遍配备。

光刻机:用于芯片制造,精度以纳米计算,决定芯片性能。技术难度极高,涉及光学、机械、化学等多领域。一台设备价值数亿元,全球仅少数企业能生产。

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