蚀刻机与光刻机有什么区别呢?

时间:01-20人气:12作者:幻影丶狂徒

蚀刻机和光刻机都是制造芯片的关键设备,但工作原理完全不同。蚀刻机用化学方法去除不需要的材料,形成电路图案;光刻机则通过光照射将电路图案转移到晶圆上,精度更高。

区别

蚀刻机:主要功能是腐蚀材料,用化学液体或等离子体去除晶圆上多余的部分,留下设计的电路。蚀刻速度较快,成本较低,适合加工较简单的结构,比如手机屏幕的导电层。但它精度有限,无法制造纳米级精细线条,依赖光刻机预先画出图案。

光刻机:核心是利用紫外光或极紫外光,通过掩模版将电路图案精确投射到晶圆上,再结合蚀刻形成完整电路。光刻机精度可达纳米级别,是制造高端芯片的核心设备,比如电脑CPU和显卡。它价格昂贵,一台机器价值上亿元,且技术门槛极高,全球只有少数企业能生产。

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