晶圆盒与晶舟盒的区别?

晶圆盒和晶舟盒都是半导体制造中用于承载晶圆的容器，但用途和结构不同。晶圆盒主要用于运输和存储晶圆，保护晶圆免受污染；晶舟盒则用于晶圆在高温工艺中的承载，需耐高温且固定晶圆位置。

区别

晶圆盒：晶圆盒是薄壁塑料或金属制成的密封容器，内部有防静电材料，防止晶圆在运输中受损。盒盖密封性好，适合存放200片晶圆，重量轻，便于人工搬运。盒体透明或有观察窗，方便检查晶圆状态，常用于晶圆厂与客户之间的物流环节。

晶舟盒：晶舟盒由耐高温陶瓷或特殊合金制成，结构坚固，盒内有固定晶舟的凹槽，能承受1000摄氏度以上的高温。盒壁较厚，隔热性能好，适合在扩散炉等设备中使用。单次只能容纳1-2个晶舟，重量大，需机械臂操作，主要用于晶圆制造的高温工艺环节。