氦质谱检漏仪不同检漏模式的区别?

氦质谱检漏仪的检漏模式主要分为真空法和压力法两种。真空法通过抽真空后检测氦气泄漏，适合高精度场景；压力法则向被测件充压后检测逸出氦气，适合大型或复杂工件。

区别

真空法：将工件放入真空室中，用仪器检测内部泄漏的氦气。这种方法灵敏度极高，能检测出微小泄漏，适合半导体、航空航天等对密封性要求严格的领域。操作时需抽真空，耗时较长，适合小型精密部件。

压力法：向工件内部充入一定压力的氦气，用探头在外部扫描检测泄漏点。这种方法效率高，适合汽车储罐、管道等大型工件，无需真空设备，但灵敏度略低于真空法，且需注意安全压力控制。