滑阀泵与罗茨泵有什么区别?

滑阀泵和罗茨泵都是真空泵，但工作原理不同。滑阀泵通过活塞往复运动抽气，适合低真空环境；罗茨泵靠两个转子同步旋转输送气体，需搭配前级泵使用，能获得更高真空度。

区别

滑阀泵：结构简单，维护方便，抽速稳定，适合抽除含少量粉尘的气体。缺点是噪音大，振动明显，极限真空度较低，一般用于实验室或小型工业设备。

罗茨泵：无油运行，抽气效率高，能快速达到高真空。但价格较高，需配合前级泵使用，对气体清洁度要求严格。常见于半导体制造、镀膜等高精度领域。