时间:01-19人气:25作者:临风不自傲
正向光刻胶和负向光刻胶是光刻工艺中的两种关键材料,主要区别在于曝光后的反应不同。正向光刻胶曝光后会被显影液溶解,形成与掩膜版相反的图案;负向光刻胶曝光后则不溶解,形成与掩膜版相同的图案。
区别
正向光刻胶:曝光部分会被显影液去除,未曝光部分保留,适合制作精细线条和复杂图形。显影后图案与掩膜版相反,分辨率较高,常用于半导体制造中的细微电路。例如,在芯片生产中,它能刻画出几十纳米宽的线条。
负向光刻胶:曝光部分不溶解,未曝光部分被显影液去除,形成与掩膜版一致的图案。它对环境要求较低,成本也便宜,适合制作较粗的图形或需要厚度的场合。比如,在电路板制造中,它能快速形成较大的连接区域。
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