时间:01-19人气:16作者:琉璃伤
双扩散漏和轻掺杂漏是半导体器件中的两种不同结构,主要区别在于制造工艺和性能特点。双扩散漏通过两次离子注入形成漏区,具有较好的抗热载流子效应能力;轻掺杂漏则采用低浓度掺杂,能有效抑制漏电流,但抗热载流子能力较弱。两者在功耗、可靠性和制造复杂度上存在差异。
区别
双扩散漏:通过两次离子注入工艺形成漏区,掺杂浓度较高,沟道长度更短,开关速度更快。这种结构能更好地抑制热载流子效应,器件寿命更长,适合高频应用。但制造工艺复杂,成本较高,漏电流相对较大。
轻掺杂漏:采用低浓度掺杂的漏区,漏电流较小,功耗更低。结构简单,制造成本低,适合低功耗场景。但抗热载流子能力较弱,长期使用可能影响器件稳定性,不适用于高压或高频环境。
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