真空泵有哪几种及区别?

真空泵主要分为机械泵、分子泵、扩散泵、干泵和罗茨泵五种类型。机械泵通过活塞或旋片压缩气体排出；分子泵利用高速转子撞击气体分子；扩散泵靠蒸汽射流带动气体；干泵无需油润滑；罗茨泵则用两个转子同步旋转输送气体。

区别

机械泵：结构简单，价格低廉，适合抽低真空环境，但抽速慢，噪音大，维护频繁。常用于实验室和工业粗抽真空，极限真空度约10⁻²帕。

分子泵：抽速快，真空度高，可达10⁻⁸帕，但价格昂贵，需要前级泵配合。适用于半导体制造和科研高真空领域，对清洁度要求高。