上海微电子和中微有什么区别?

上海微电子和中微都是中国领先的半导体设备企业，但领域不同。上海微电子专注于光刻机研发，尤其是成熟制程的DUV光刻设备；中微则聚焦刻蚀设备，在5纳米及以下先进制程领域技术领先。两者共同推动国产半导体设备突破，但核心产品和技术路线差异明显。

区别

上海微电子：主要生产光刻机，尤其是用于成熟制程的深紫外光刻设备。客户覆盖国内晶圆厂，产品线包括i-line和KrF光刻机。技术积累集中在光学系统和精密机械领域，目前28纳米制程设备已进入客户验证阶段。公司成立于2002年，总部位于上海，员工约2000人。

中微公司：核心业务是等离子体刻蚀设备，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片制造。在5纳米及以下制程刻蚀领域全球领先，客户包括台积电、三星等国际大厂。技术优势在于反应腔设计和工艺控制，2022年刻蚀设备市占率超过15%。公司成立于2004年，总部在上海，研发人员占比超40%。