干法蚀刻和湿法蚀刻哪个先进?

干法蚀刻更先进，精度高、损伤小，适合精细加工。

对比

干法蚀刻：使用等离子体或离子束，精度可达纳米级，表面光滑，适合集成电路等高精度领域。设备成本高，但加工速度快，适合大规模生产。蚀刻深度可控，重复性好，适合复杂图形制作。

湿法蚀刻：通过化学溶液腐蚀，成本低，操作简单。但精度较低，边缘容易不整齐，适合对精度要求不高的场合。蚀刻速度较慢，且会产生废液，环保性较差。