氮化镓衬底和外延片哪个技术高?

氮化镓衬底技术更高，因为它需要从零开始制造高质量晶体，难度远高于在外延片上生长薄膜。

对比

氮化镓衬底：需要精确控制晶体生长条件，比如温度、压力和杂质含量，任何偏差都会导致晶体缺陷。目前全球只有少数企业能生产2英寸以上的衬底，成本高达每片数千元，良品率不足30%。

氮化镓外延片：在现有衬底（如硅或蓝宝石）上生长薄膜，技术门槛较低。外延工艺成熟，成本可控，4英寸外延片价格约为衬底的1/5，良品率可达80%以上。