光刻机与蚀刻机哪个贵?

光刻机比蚀刻机贵很多。光刻机是芯片制造中最精密的设备之一，价格可达数亿元，而蚀刻机虽然也很重要，但价格通常在几千万到一亿元左右。

对比

光刻机：光刻机是芯片制造的核心设备，负责将电路图案精准地转移到硅片上。它使用极紫外光或深紫外光技术，精度达到纳米级别。一台高端光刻机包含数万个精密零件，制造过程需要顶尖光学和机械技术。全球只有少数几家公司能生产，垄断性极强，因此价格昂贵。

蚀刻机：蚀刻机用于去除硅片上不需要的部分，形成电路结构。它通过化学或物理方法精确刻蚀材料，精度要求低于光刻机。蚀刻机技术相对成熟，制造商较多，生产成本较低。虽然高端蚀刻机价格不菲，但整体价格仅为光刻机的几分之一。