磁控溅射用直流还是交流?

磁控溅射选择直流还是交流，主要取决于靶材材料。直流电源适合导电材料，如金属；交流电源适合绝缘材料，如陶瓷或氧化物。直流操作简单，成本低；交流能避免电荷积累，适合高绝缘性材料。选择时需结合材料特性和工艺需求。

对比

直流电源：操作简单，成本低，适合金属等导电材料。溅射效率高，沉积速度快，适合大规模生产。但无法处理绝缘材料，容易因电荷积累导致靶材中毒，影响稳定性。维护方便，适合预算有限、材料导电的场合。

交流电源：能处理绝缘材料，避免电荷积累，适合陶瓷、氧化物等高绝缘性靶材。溅射过程稳定，靶材寿命长，但设备成本高，操作复杂。适合对材料纯度要求高、绝缘性强的场合，如半导体或光学薄膜制备。